バッキングプレート

バッキングプレートは、液晶パネル、半導体、HDD、記録メディアなどの製造工程で使用されるスパッタリング装置において、ターゲット材の支持と冷却を担う精密部品です。そのため、バッキングプレートの製作には、高い寸法精度と品質管理が要求されます。

株式会社協立機工では、銅、アルミ、ステンレスはもちろん、難易度が高いとされるチタン材の加工にも対応しております。卓越した技と高性能なCAD・CAMを駆使し、高精度の加工を実現しております。長年培った経験と技術をもとに、お客様の仕様に合わせた最適な加工方法をご提案いたします。

私たちの「技能」を是非、一度ご覧ください。

【主な納入実績】
一体型Type・拡散接合Type・ジャケット水冷Type