バッキングチューブ
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バッキングチューブとは
株式会社協立機工では、バッキングチューブの製造にも対応しております。バッキングチューブは、同方式の薄膜材料である円筒型ターゲットを支持・冷却する部品となります。昨今、液晶パネルや薄膜太陽電池、OLED、タッチパネル、高機能フィルムなどの生産工程において、ターゲットの使用効率に優れたロータリー方式のスパッタリング装置が採用されております。
【納入実績】
TFTアレイ・カラーフィルター・OLED・薄膜太陽電池・高機能フィルムなど
バッキングチューブの製造
バッキングチューブには、ストレートType、フランジTypeなどがあり、さらにスパッタリング装置メーカー、カソードメーカーなどによっても様々な形状がございます。
薄肉で長さ3mを超えるものもあり、非常に難易度の高い加工製品であると言えます。
当社では、ターゲットの材質に合わせてチタンやステンレスなどのバッキングチューブもご用意が可能です。
【溶接方式】
真空ロウ付け・電子ビーム溶接など
【最大加工寸法】
5,000mmL
リーク検査
バッキングチューブは、真空チャンバー内で使用されるターゲット冷却機構であるため、微細なガスリークも許されない精密部品でございます。
当社は、リークディテクタという設備でヘリウムリーク検査を実施し、厳しい検査を合格した製品をお客様に納入しております。
